ВИРИС
«ВИРИС» включено в реестр российского ПО: реестровая запись № 34799, решение Экспертного совета (протокол № 593пр от 29.07.2026). Правообладатель — ООО "СОФТ-ИМПАКТ". Заявление № 373737 от 05.07.2026.
Статус: Включено в реестр · Этап: В реестре · ПО
- Номер заявления
- № 373737, зарегистрировано 05.07.2026
- Правообладатель
- ООО "СОФТ-ИМПАКТ"
- Реестровая запись
- Реестровая запись №34799 от 18.08.2026
- Классы ПО
- 08.05 Средства инженерного анализа (CAE)
О продукте
Программное обеспечение для моделирования технологических процессов полупроводникового производства.
Опции моделирования, доступные в программном обеспечении ВИРИС: • Глобальный теплообмен в камере реактора, включающий ◦ Резистивный нагрев и подбор мощности нагревателей под целевую температуру в любой точке камеры реактора ◦ Теплоперенос в твердом теле. Пользователь может задать теплопроводность материалов деталей конструкции реактора как функцию температуры ◦ Конвективный теплоперенос и лучистый теплообмен в газовой среде ◦ Лучистый теплообмен в полупрозрачных материалах камеры реактора. Модель теплопереноса в двух диапазонах длин волн используется для учета лучистого теплообмена в полупрозрачных твердых материалах, которые характеризуются пороговой длиной волны • Массоперенос в камере реактора, включающий ◦ Массоперенос компонентов смеси, в котором коэффициенты теплопроводности и вязкости вычисляются на основе молекулярно-кинетической теории ◦ Диффузионный перенос реагирующих компонентов и вычисление бинарных коэффициентов диффузии на основе соотношения Стефана-Максвелла ◦ Объемная химия для описания взаимодействия газовых компонентов ◦ Поверхностная химия для описания адсорбции, десорбции и превращения газовых компонентов на поверхности твердого тела Выходные данные из модели: ◦ Мгновенная скорость осаждения материалов ◦ Скорость формирования эпитаксиальных слоев Si и SiGe с учетом вращения подложки ◦ Толщина слоя оксидов, выращенных методом ALD, как функция времени ◦ Толщина слоя оксида кремния как функция времени ◦ Пространственное распределение скорости осаждения покрытий Дополнительно: • База данных свойств материалов • Пошаговое руководство • Поставочные примеры
- Свидетельство Роспатента
- № 2025697968 от 29.12.2025
- Код ОКПД 2
- 62.01.2 Оригиналы программного обеспечения
- ИНН правообладателя
- 7802086527
- Государство регистрации
- Россия
- Документация
- softimpact.ru
По карточке заявления на сайте реестра, обновлена там 24.06.2026.
Решения Экспертного совета
- Включить в реестр — протокол № 593пр от 29.07.2026, голосование: за 24, против 0, воздержались 1; поручение оператору от 18.08.2026
- Класс программного обеспечения: Средства инженерного анализа (CAE)
История заявления
- 18.08.2026 — реестровая запись № 34799
- 29.07.2026 — решение Экспертного совета: Включить в реестр (протокол № 593пр)
- 05.07.2026 — появилось в списке со статусом «Включено в реестр»
Другие продукты правообладателя
- АЛЬБАТРОС — Включено в реестр
Все заявления — ООО "СОФТ-ИМПАКТ"
Похожие продукты в классе 08.05
- Прогноз дебита и давления скважин (аналитические решения) — Готовится экспертная оценка
- T-FLEX DOCs. Управление расчётами — Подготовка голосования
- ГидроВэб — Готовится экспертная оценка
- Parametrica — Готовится экспертная оценка
- Программный комплекс для моделирования экспериментальных исследований в ударных трубах — Подготовка голосования
- «Платформа-ГНС версия «Фундамент» — Включено в реестр
- PID Tuner — Включено в реестр
- САТЕС 3 — Подготовка голосования
Весь класс 08.05 Средства инженерного анализа (CAE)